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质量流量计和质量流量控制器结构

质量流量计采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量测量电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀,通过闭环控制来控制通过的流量,并使之与设定的流量相等,分流器决定主通道的流量,图为MFC和流量显示仪连接后的工作原理图:
涡轮流量计,气体涡轮流量计,罗茨流量计 
控制器输出的流量检测到的电压与流过通道的气体质量成正比。满量程检测输出电压为5VDC。气体质量流量控制器的检测范围为2~100%满刻度(量程比为50:1),流量分辨率为0.1%满刻度。 
注意: 气体质量流量控制器的“阀控"线置于“清洗"位时也可以当成气体质量流量计使用。这时,流量检测输出电压的输出值可能达到10VDC以上。需要注意的是,一旦输出电压超过5VDC,流量检测电压和实际通过的流量不成线性对应关系。清洗时,流量显示是不准确的,而且还可能出现流量增大、显示减小的现象,但这些不会损坏质量流量控制器。 

质量流量计和质量流量控制器结构: 

涡轮流量计,气体涡轮流量计,罗茨流量计

质量流量计含流量传感器、分流器通道和流量放大、线性化及温度补偿电路组成。增加电磁阀和PID控制电路就构成了流量控制器。 

质量流量计和质量流量控制器实物:

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点击次数:  更新时间:2017-03-21 17:21:32  【打印此页】  【关闭